鼎宝融全球Review SEM设备市场前6强生产商排名及市场占有率

Review SEM设备也称为缺陷复检设备（DR-SEM），属于电子束检测设备类别。电子束检测设备除了DR-SEM外鼎宝融，还包括了电子束缺陷检测设备 (EBI)。

Review SEM设备是一种集成了传统扫描电子显微镜（SEM）成像功能与自动化缺陷复查系统的高端设备，广泛应用于半导体晶圆制造、光掩模（Photomask）检测以及高精密器件生产中的质量控制环节。该设备能够对检测设备（如检测机、缺陷检测系统）预先标记出的微缺陷进行高分辨率图像采集与自动识别，实现对缺陷类型、尺寸、形貌的分类、分析和记录。与普通SEM相比，Review SEM 通常具备自动导航、高通量图像采集、AI缺陷分类、与FAB生产系统联动等功能，是晶圆厂中缺陷源头追溯、工艺优化和良率提升不可或缺的关键工具。

根据QYResearch最新调研报告显示，预计2031年全球Review SEM设备市场规模将达到11.33亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为7.06%。

全球Review SEM设备市场前6强生产商排名及市场占有率（基于2024年调研数据；目前最新数据以本公司最新调研数据为准）

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生产端来看，Review SEM设备核心产地主要是美国和日本，其中美国是最主要的生产地区，2024年占有66%的市场份额。中国电子束检测量测设备企业与国际龙头企业（比如应用材料、日立高科）在先进工艺领域的应用、技术、产品性能上仍存在较大差异。但随着中国本土厂商国产化进程加速，中国本土部分企业在电子束检测量测设备市场也获得了一定的市场份额，如上海精测和东方晶源，其中东方晶源主打CD-SEM设备。另外这几年，在电子束检测量测设备领域，中国本土企业也有不少新进者，比如，惠然微电子（EBI和CD-SEM），苏州矽视科技有限公司（EBI和CD-SEM）、青田恒韧智能科技（CD-SEM）、无锡亘芯悦（CD-SEM和DR-SEM）、元相微公司（EBI）和华研芯测（EBI），但目前来看规模相对较小或者有些仍在Demo中，随着未来中国半导体市场的发展，预计未来几年中国本土厂商在全球的竞争份额将逐步增加，中国地区将保持最快增速，随着国产电子束检测量测设备技术的进步、成本优势的显现以及政策支持的加强，预计到2031年中国电子束检测量测设备产量份额将达到4.9%

Review SEM设备，全球市场规模，按应用细分，晶圆Review是最大的下游市场，占有90%左右的份额。

目前，晶圆专用DR-SEM设备占比最大，2024年占据了90.7%的份额。其中掩膜版专用DR-SEM设备企业主要是爱德万和日本Holon，其中Holon主要在日本销售。晶圆专用DR-SEM设备全球龙头企业主要是应用材料（Applied Materials），2024年市场占比超过了55%。随着中国本土前道量检测设备厂商逐渐商业化量产，未来DR-SEM销量的增速将超过全球增速。

全球Review SEM设备规模，主要生产地区份额（按产值）

全球主要市场Review SEM设备规模

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发布于：广东省

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